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      大宗特氣供氣系統特點及應用

      作者:蓋斯帕克 發布時間:2018-12-21

        大宗特氣系統特點

        1、大宗特氣供貨系統(BSGS)采用全自動可編程控制器和彩色觸摸屏;

        2、氣體面板采用氣動閥和壓力傳感器,可實現自動切換、自動氮氣吹掃和自動真空輔助排氣。

        3、多重安全保護措施,泄漏檢測,遠程緊急切斷;特殊氮氣吹掃的來源等。

        4、特種氣體由獨立氣源供應,多用途點由VMB或VMP供應,VMB或VMP由分支氣動閥、氮氣吹掃、真空輔助排空等供應。

        5、由于BSGS氣源總量大,主要使用獨立氣室和獨立通風系統系統。

        大宗特氣供應系統應用

        大宗特氣供氣系統主要針對8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大型集成電路工廠(氣體類型包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等)的大規模生產。),100兆瓦以上的太陽能電池生產線(氣體類型包括NH3)。發光二極管外延生產線(氣體型包括NH3)、5代以上液晶顯示工廠(氣體型包括4、3和NF3)、光纖(氣體型包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體型包括氯化氫)等行業。他們投資規模巨大,采用先進的工藝設備,對氣體需求巨大,對穩定不間斷的供應、純度控制和安全生產提出了嚴格的要求。

        上述工廠的大宗常見氣體主要由現場制氣或工業園區管道供應。年產5萬芯片的8英寸超大型集成電路廠對高純氮的需求超過5000 Nm3/h,發光二極管外延生產線和硅外延生產線對氫的需求超過100 Nm3/h。

        除了裝在普通鋼瓶(50L及以下)中的特種氣體外,還有許多種特種氣體一般裝在大容器中,因此它們被稱為大宗特氣,包括Y型鋼瓶(450L)、T型鋼瓶(980L)、容器(940L)、ISO罐(22,500L)、魚雷車(13,400L)等。

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