一、半導體/TFT/LED/太陽能/平板顯示

蓋斯帕克長期與集成電路廠家合作，專門開發設計安裝的高純的EP級特氣柜、氣體分配柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、常壓化學氣相淀積（APCVD）、低壓化學氣相淀積（LPCVD）、等離子體化學氣相淀積（PECVD）、濺射（PF）、光刻等半導體設備的供氣服務，同時還算征對各家工廠的實際特點，量身定制地開發了危險氣體監控管理系統（GDS），為廠家的安全生產保駕護行。還相應開發了上述生產設備的尾氣處理系統，保證了工廠廢氣的排放達標